钼微孔片

雷射微钻孔、滤光装置、光学变换装置、小孔、迷你孔、电子显微镜耗材、电子束关键零组件、电子束微孔片、电子束检验、E-beam、eBeam/京碼研发之精密雷射光机电技术,广泛应用于精密加工制造及客密设备机台之设计。

钼微孔片 - 雷射微钻孔钼片,用于扫描电子显微镜扫描电子显微镜
  • 钼微孔片 - 雷射微钻孔钼片,用于扫描电子显微镜扫描电子显微镜

钼微孔片

雷射微钻孔、滤光装置、光学变换装置、小孔、迷你孔、电子显微镜耗材、电子束关键零组件、电子束微孔片、电子束检验、E-beam、eBeam

京碼于50 ㎛ 厚度的钼片上进行雷射微钻孔。

摩尔定律在接下来二十年的演进有两大趋势,第一是光刻密度持续缩放,在检测与量测上对解析度的要求更高。第二是2.5 及3D 缩放之使用渐增,在检测与量测上对高纵横比/深宽比之要求更高。在操作上,电子枪射出电子束,阳极加促电子束,聚焦镜校准电子束,物镜将光束聚焦于样本上,缺陷扫描线圈光栅将聚焦的电子束于样本上扫描,侦测器从样本上搜集发散出来的讯号,影像显示系统将讯号及扫描的位置同步,以产生影像。
 
电子束可用于:量测、电压对比缺陷检测、及物理缺陷检测。电子束检测本为高解析度,高捕捉率,能持续地维持平稳表现。晶圆的缺陷必须被找出来并根除,电子束检测能挖掘出光学检测系统无法侦测之缺陷,对提高裸晶之良率极为重要。电子束能于广泛的冲击能量(landing energy)范围里,以高解析度来检测晶圆表面及隐于3D 立体结构里之物理缺陷。电子束电压对比检测唯一能检测出电压缺陷之可行方法。
 
在电子束检测系统里,电子束于产生后,会撞击到裸晶表面。电子束散布于裸晶表面,反弹回侦测器,使其侦测到缺陷。相对于光学检测,电子束检测的敏感程度更高,能侦测到光学检测无法发掘的缺陷。电子束系统产生两种电子,次级电子或反向散射(backscattered)电子,来侦测缺陷。次级电子为低能量电子,从样本上反弹回来,提供表面资讯。反向散射电子则深深地渗透进样本。系统需求包含:(1)高真空,让电子无障碍地行旅;(2)高电压/伏特数:从来源处吸引电子,并加速其行旅。


京碼钼微孔片服务简介

京碼股份有限公司是台湾一家拥有超过27年经验的专业钼微孔片生产制造服务商。我们成立于西元2006年, 在精密机械工业领域上,京碼提供专业高品质的钼微孔片制造服务,京碼总是可以达成客户各种品质要求。