超快DUV 深紫外大功率雷射冷加工服务

使用深紫外光266nm 皮秒雷射加工机/京碼研发之精密雷射光机电技术,广泛应用于精密加工制造及客密设备机台之设计。

DUV 超快雷射

超快DUV 深紫外大功率雷射冷加工服务

使用深紫外光266nm 皮秒雷射加工机

京碼推出DUV 超快雷射加工服务,可为您的材料来进行蚀刻、钻孔、及切割,亦能施展多项制程,包含剥离lift-off、半切semi-cut、雷射开窗、及电浆垂直切割等。我们的机台可处理多种材料,立即联络我们预约时段,可短期试做,亦接受中长期OEM 委托代工。


京碼于7 月开始架设Ultrafast DUV laser 超快短脉冲雷射,整合成微米精度之加工精密机台,有效加工运动行程为500x500mm,自动化机台设计为650x850mm,能于2D 曲面上进行等能量位址控制之高精准异型加工。即日起开放预约时段短长期租机代工OEM 技术工程服务,台湾科学园区公会会员享有特别优惠,缩短供应链。技术服务内容包含:(1)18 吋晶圆后段封装工程;(2)冷加工雷射制程;(3)高分子/复合材料之雷射微钻孔及微切割;(4)功能性金属薄片材料之雷射微钻孔及微切割;(5)多层材料薄膜之雷射微蚀刻线路成型;(6)Micro-LED 晶圆之雷射剥胶(lift-off);(7)电浆切割矽晶圆(<18”),以让光阻图案成型;(8)ABF/BT/Si 之雷射微钻孔(<20um)。

超快DUV 深紫外大功率雷射冷加工服务

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薄膜之深紫外雷射微切割及微钻孔 - 京碼采用雷射冷加工,来定位并精准切割薄膜,无尘无毛边,无热效应,达到高精度
薄膜之深紫外雷射微切割及微钻孔

薄膜材料是指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属及有机物层,薄膜技术主要应用于半导体功率元件和光学镀膜。本案是利用薄膜厚度之特质,其切割尺寸具高稳定性,亦利用雷射冷加工之高精度特性,来精准定位,执行微切割及微钻孔。

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超快DUV 深紫外大功率雷射- 聚碳酸脂之冷加工微蚀刻 - PC 材料薄膜之线路冷蚀刻
超快DUV 深紫外大功率雷射- 聚碳酸脂之冷加工微蚀刻

京碼利用其开发之DUV 雷射机台,成功于聚碳酸脂(PC材料)薄膜上雷射微蚀刻出线路,而不伤害材料。其他种雷射因会产生焦黑,而不适合用来于聚碳酸脂微蚀刻电路。

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超快DUV 深紫外大功率雷射- MicroLED 剥胶Lift-off - 将蓝宝石基板内部之Micro-LED 线路薄膜剥离下来,采用深紫外雷射进行照射与蓝宝石之结合处进行解离
超快DUV 深紫外大功率雷射- MicroLED 剥胶Lift-off

在Micro-LED 制程中,其中几道能以雷射制程来进行,包含有Micro-LED 蓝宝石基板之转贴到正反转,再以高精度雷射来切割每一晶粒,接着进行深紫外雷射剥离各晶粒到面板上之移载制程,这三道雷射制程在Micro-LED...

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超快DUV 深紫外大功率雷射- 高分子材料半切 - 机能性材料或三明治结构的膜材来进行深度控制,进行膜层设计制造,决定全切或半切至特定层级。
超快DUV 深紫外大功率雷射- 高分子材料半切

膜材半切制程常于三明治结构多层膜材中进行,主要是切割到特定层来达成膜材撕离或贴合,这在雷射光学及制程开发中必须特别设计,整合并优化机电平台、聚焦光学、及控制方式来达成。

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超快DUV 深紫外大功率雷射- 薄片晶圆微切割 - 以深紫外雷射来切割薄片晶圆之优势为低应力及低热效应
超快DUV 深紫外大功率雷射- 薄片晶圆微切割

深紫外DUV 波长雷射是以非常高光子能量来直接气化解离加工材料,采用皮秒超快雷射具有冷加工特性,因此热应力不会于材料切割过程中产生,此技术方案很适合用于切割薄片晶圆材料。

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超快DUV 深紫外大功率雷射- 雷射开窗及电浆垂直切割矽晶圆- 切穿 - 对于厚片矽晶圆进行窄沟道高密度晶粒切割,且无应力产生之危害
超快DUV 深紫外大功率雷射- 雷射开窗及电浆垂直切割矽晶圆- 切穿

采用旧制程之直接雷切或隐切于厚片矽晶圆之后段封装制程,皆会产生应力,或是产生粉尘,污染表面。为解决上述问题,京碼推出新技术,其制程包含:(1)先将矽晶圆镀上保护膜,如同遮蔽罩,再使用DUV...

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京碼超快DUV 深紫外大功率雷射冷加工服务服务简介

京碼股份有限公司是台湾一家拥有超过27年经验的专业超快DUV 深紫外大功率雷射冷加工服务生产制造服务商。我们成立于西元2006年, 在精密机械工业领域上,京碼提供专业高品质的超快DUV 深紫外大功率雷射冷加工服务制造服务,京碼总是可以达成客户各种品质的要求。