超快 DUV 深紫外大功率雷射冷加工服務

使用深紫外光 266nm 皮秒雷射加工機 / 京碼研發之精密雷射光機電技術,廣泛應用於精密加工製造及客密設備機台之設計。

DUV 超快雷射

超快 DUV 深紫外大功率雷射冷加工服務

使用深紫外光 266nm 皮秒雷射加工機

京碼推出 DUV 超快雷射加工服務,可為您的材料來進行蝕刻、鑽孔、及切割,亦能施展多項製程,包含剝離 lift-off、半切 semi-cut、雷射開窗、及電漿垂直切割等。我們的機台可處理多種材料,立即聯絡我們預約時段,可短期試做,亦接受中長期 OEM 委託代工。


京碼於 7 月開始架設 Ultrafast DUV laser 超快短脈衝雷射,整合成微米精度之加工精密機台,有效加工運動行程為 500x500mm,自動化機台設計為 650x850mm,能於 2D 曲面上進行等能量位址控制之高精準異型加工。即日起開放預約時段短長期租機代工 OEM 技術工程服務,臺灣科學園區公會會員享有特別優惠,縮短供應鏈。技術服務內容包含:(1)18 吋晶圓後段封裝工程;(2)冷加工雷射製程;(3)高分子/複合材料之雷射微鑽孔及微切割;(4)功能性金屬薄片材料之雷射微鑽孔及微切割;(5)多層材料薄膜之雷射微蝕刻線路成型;(6)Micro-LED 晶圓之雷射剝膠(lift-off);(7)電漿切割矽晶圓(<18”),以讓光阻圖案成型;(8)ABF/BT/Si 之雷射微鑽孔(<20um)。

超快 DUV 深紫外大功率雷射冷加工服務

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薄膜之深紫外雷射微切割及微鑽孔 - 京碼採用雷射冷加工,來定位並精準切割薄膜,無塵無毛邊,無熱效應,達到高精度
薄膜之深紫外雷射微切割及微鑽孔

薄膜材料是指厚度介於單原子到幾毫米間的薄金屬及有機物層,薄膜技術主要應用於半導體功率元件和光學鍍膜。本案是利用薄膜厚度之特質,其切割尺寸具高穩定性,亦利用雷射冷加工之高精度特性,來精準定位,執行微切割及微鑽孔。

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超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 聚碳酸脂之冷加工微蝕刻 - PC 材料薄膜之線路冷蝕刻
超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 聚碳酸脂之冷加工微蝕刻

京碼利用其開發之 DUV 雷射機台,成功於聚碳酸脂(PC材料)薄膜上雷射微蝕刻出線路,而不傷害材料。其他種雷射因會產生焦黑,而不適合用來於聚碳酸脂微蝕刻電路。

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超快 DUV 深紫外大功率雷射 - MicroLED 剝膠 Lift-off - 將藍寶石基板內部之 Micro-LED 線路薄膜剝離下來,採用深紫外雷射進行照射與藍寶石之結合處進行解離
超快 DUV 深紫外大功率雷射 - MicroLED 剝膠 Lift-off

在 Micro-LED 製程中,其中幾道能以雷射製程來進行,包含有 Micro-LED 藍寶石基板之轉貼到正反轉,再以高精度雷射來切割每一晶粒,接著進行深紫外雷射剝離各晶粒到面板上之移載製程,這三道雷射製程在...

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超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 高分子材料半切 - 機能性材料或三明治結構的膜材來進行深度控制,進行膜層設計製造,決定全切或半切至特定層級。
超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 高分子材料半切

膜材半切製程常於三明治結構多層膜材中進行,主要是切割到特定層來達成膜材撕離或貼合,這在雷射光學及製程開發中必須特別設計,整合並優化機電平台、聚焦光學、及控制方式來達成。

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超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 薄片晶圓微切割 - 以深紫外雷射來切割薄片晶圓之優勢為低應力及低熱效應
超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 薄片晶圓微切割

深紫外 DUV 波長雷射是以非常高光子能量來直接氣化解離加工材料,採用皮秒超快雷射具有冷加工特性,因此熱應力不會於材料切割過程中產生,此技術方案很適合用於切割薄片晶圓材料。

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超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 雷射開窗及電漿垂直切割矽晶圓 - 切穿 - 對於厚片矽晶圓進行窄溝道高密度晶粒切割,且無應力產生之危害
超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 雷射開窗及電漿垂直切割矽晶圓 - 切穿

採用舊製程之直接雷切或隱切於厚片矽晶圓之後段封裝製程,皆會產生應力,或是產生粉塵,汙染表面。為解決上述問題,京碼推出新技術,其製程包含:(1)先將矽晶圓鍍上保護膜,如同遮蔽罩,再使用DUV...

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京碼 超快 DUV 深紫外大功率雷射冷加工服務服務簡介

京碼股份有限公司是台灣一家擁有超過27年經驗的專業超快 DUV 深紫外大功率雷射冷加工服務生產製造服務商。 我們成立於西元2006年, 在精密機械工業領域上, 京碼提供專業高品質的超快 DUV 深紫外大功率雷射冷加工服務製造服務, 京碼 總是可以達成客戶各種品質的要求。