超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 雷射開窗及電漿垂直切割矽晶圓 - 切穿

晶圓切割、晶圓鑽孔、雷射微切割、雷射微鑽孔、矽晶圓、芯片、雷射開窗 / 京碼研發之精密雷射光機電技術,廣泛應用於精密加工製造及客密設備機台之設計。

超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 雷射開窗及電漿垂直切割矽晶圓 - 切穿 - 對於厚片矽晶圓進行窄溝道高密度晶粒切割,且無應力產生之危害
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晶圓切割、晶圓鑽孔、雷射微切割、雷射微鑽孔、矽晶圓、芯片、雷射開窗

採用舊製程之直接雷切或隱切於厚片矽晶圓之後段封裝製程,皆會產生應力,或是產生粉塵,汙染表面。為解決上述問題,京碼推出新技術,其製程包含:(1)先將矽晶圓鍍上保護膜,如同遮蔽罩,再使用DUV 深紫外雷射聚焦小光斑之線寬進行表面保護膜之開窗,省去傳統曝光顯影之開窗光罩複雜製程;(2)後續加上電漿高垂直性控制方式來將開窗區往下蝕刻切穿,成功切割厚片晶圓。

採用深紫外雷射進行遮蔽罩直寫開窗成型及電漿高垂直窄溝道切穿矽晶圓


京碼 超快 DUV 深紫外大功率雷射 - 雷射開窗及電漿垂直切割矽晶圓 - 切穿服務簡介

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