小尺寸晶圓成形

晶圓切割、芯片切割、晶圓微切割、晶圓製造、雷射微切割 / 京碼研發之精密雷射光機電技術,廣泛應用於精密加工製造及客密設備機台之設計。

小尺寸晶圓成形 - 用雷射將傳統大小之晶圓切割成小型化Fab廠之設備製程所使用之晶圓尺寸
  • 小尺寸晶圓成形 - 用雷射將傳統大小之晶圓切割成小型化Fab廠之設備製程所使用之晶圓尺寸

小尺寸晶圓成形

晶圓切割、芯片切割、晶圓微切割、晶圓製造、雷射微切割

晶圓被切割後,表面需保持潔淨無塵,因此在切割時需注意防塵或進行除塵。針對此特殊需求,京碼推出專利倒掛機台,結合雷射保護膜及倒掛機台,來進行重力除塵加工,使產品切割裂片後無落塵產生,能以高良率製程產出。

傳統晶圓切割採用旋轉刀具,製程雖簡易方便,但易有噴濺嚴重、溝道較寬等缺點,且會產生應力。雷射內切割能減少噴濺,且溝道較小,目前已有許多工廠採用雷射方案來切割晶圓。京碼採用雷射切割倒掛專利,整合多層聚焦切割、表面溝槽划線切割,利用地心引力與大功率吸塵,來將碎屑帶走而不傷表面,有效降低成本,簡化前後製程。此技術可應用於LED晶圓切割、矽晶圓切割、碳化矽晶圓切割、玻璃晶圓切割、微機電晶圓切割等。

晶圓雷射微切割

以雷射切割半導體晶圓的優點是切割道小,降低損耗,搭配內切方案可以降低粉塵問題。京碼能因應新型MiniFab工廠之製程需求,根據尺寸及型狀切割成製程加工所需之大小,本案是切割成半吋晶圓大小。

產品特性
  • 雷射切割尺寸及圖案之彈性高。
  • 選配無塵切割。
  • 切割精度高。
  • 調整修改製程迅速。
產品應用
  • MiniFab 晶圓。
  • Si基機構元件。
  • 晶圓製程相關構件。

京碼 小尺寸晶圓成形服務簡介

京碼股份有限公司是台灣一家擁有超過27年經驗的專業小尺寸晶圓成形生產製造服務商。 我們成立於西元2006年, 在精密機械工業領域上, 京碼提供專業高品質的小尺寸晶圓成形製造服務, 京碼 總是可以達成客戶各種品質要求。